真空等離子清洗機

VP-R系列真空等離子清洗機

VP-R系列真空等離子處理儀對標國際品牌☁✘│✘，*技術空白（專li↟·₪│·：低溫真空石英腔體等離子清洗裝置）☁✘│✘，VP-R系列頻率13.56MHz☁✘│✘，能對材料起到清潔▩•、刻蝕▩•、活化▩•、改性的作用☁✘│✘，滿功率執行30分鐘☁✘│✘，腔體溫度不高於32℃☁✘│✘，不損傷樣品☁✘│✘，適用於微流控晶片PDMS鍵合▩•、ITO導電玻璃▩•、石墨烯▩•、纖維▩•、單晶矽片▩•、PET▩•、二氧化矽等幾乎所有材料的PLASMA處理✘▩₪。

VP-R系列真空等離子清洗機特點

VP-R系列真空等離子清洗機優勢

01 Better Reliability☁✘│✘，Better Operation

內建兩路氣路☁✘│✘，氣體流量可調☁✘│✘，無需再搭配氣體混合儀

zuan利軟體▩•、操作簡易☁✘│✘，智慧化設計☁✘│✘，避免誤操作

採用數字顯示壓力☁✘│✘，實時觀察腔體壓力變化情況

中英文作業系統☁✘│✘，觸控式螢幕控制☁✘│✘，人機介面友好

電流▩•、電壓實時監測☁✘│✘，確保儀器穩定安全執行

清洗時長可在觸控式螢幕設定☁✘│✘，等離子處理時間精確到秒（s）

PLASMA處理結束後☁✘│✘，自動洩壓☁✘│✘，洩壓時長和大小可調；可通入氮氣洩壓

功率高▩•、中▩•、低三擋可調

02對標國際yi線品牌☁✘│✘，*技術空白

國內shou創☁✘│✘，13.56MHz頻率用於PLASMA處理

效能bi肩國際一線產商☁✘│✘，在控制自動化☁✘│✘，人性化設計方面國際領xian

通入氣體和洩壓是獨立通道互不干擾；自動洩壓比手動洩壓更方便

腔體低溫☁✘│✘，滿功率執行30分鐘腔體溫度不高於32°C☁✘│✘，不損傷樣品

腔體材質為石英☁✘│✘，不與等離子體反應☁✘│✘，保證樣品不被汙染

13.56MHz等離子體處理對材料既有清潔▩•、刻蝕▩•、也有活化改性作用

等離子體從腔體四周發出☁✘│✘，對樣品處理更均勻▩•、更*

03細節把控☁✘│✘，給使用者更好體驗

石英材質真空腔體不與等離子體產生反應☁✘│✘，不會汙染樣品

配備的真空泵噪音和油氣汙染小☁✘│✘，真空度高

真空泵與主機聯動☁✘│✘，可在觸控式螢幕控制真空泵開啟/關閉

1.5米不鏽鋼波紋管☁✘│✘，比橡膠管更耐用☁✘│✘，密封性更好

標配清洗托盤☁✘│✘，方便使用

安捷倫Agilent幹泵（選配）☁✘│✘，避免油氣汙染

OF-20油汙過濾器（選配）☁✘│✘，避免排氣口油氣對實驗室環境的汙染

04經典清洗案例分析

石墨烯粉末清洗▩•、改性☁✘│✘，去除粉末雜質和油質☁✘│✘，增加石墨烯表面親水基團（-OH）提高親水性

金屬工件油汙等離子清洗☁✘│✘，不損傷樣品☁✘│✘，去除表面油汙

PDMS等離子活化改性☁✘│✘，提升親水性和鍵合力

ITO導電玻璃親水性處理並提高其功函式

二維材料的清潔▩•、刻蝕

矽片親水性處理☁✘│✘，改性▩•、活化表面

05石墨烯粉末VP-R3親水性處理XPS譜圖分析

處理前石墨烯粉末溶於蒸餾水☁✘│✘，會粘在瓶壁上

處理後石墨烯粉末上下搖勻後☁✘│✘，不會粘在瓶壁

處理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底☁✘│✘，肉眼可見分層明顯

處理後石墨烯粉末懸浮在水體☁✘│✘，說明其親水性增強

綠色曲線為處理前的XPS譜圖☁✘│✘，曲線一直都是平穩走向

紅色曲線為處理後的XPS譜圖☁✘│✘，曲線在285eV左右有個峰值☁✘│✘，

可知石墨烯粉末的性質已改變

處理後石墨烯導熱率可提高40%☁✘│✘，穩定性增強

06 ITO導電玻璃等離子VP-R3處理接觸角測量儀分析

CM-180接觸角測定可知☁✘│✘，未處理ITO接觸角為80°C☁✘│✘，處理後ITO接觸角48°C☁✘│✘，親水性明顯增強

處理前平均接觸角▩•、右接觸角和左接觸角三條曲線分離☁✘│✘，處理後三條曲線重合☁✘│✘，說明ITO表面更平整

VP-R系列滿功率執行30分鐘腔體溫度低於32°C☁✘│✘，非常適合ITO導電玻璃不耐熱屬性

通入氧等離子體時☁✘│✘，可以提高ITO導電玻璃的功函式


VP-R系列真空等離子清洗機技術規格

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